球桿儀可以同時動態(tài)測量兩軸聯動狀態(tài)下的圓運動精度，新式的球桿儀設備可以在一次安裝后，依次測量XY，YZ，XZ個平面上的圓軌跡精度。數控機床的垂直度、重復性、間隙、各軸的伺服增益比例匹配、伺服性能和絲杠周期性誤差等參數指標哈默納科三維數控諧波CSG-45-160-2UH都能從圓運動輪廓的半徑變化中反映出來。通常，測量周期不超過1h。

   球桿儀是一維的位移測量，在檢測多軸機床時，需要設置復雜的聯動方案。一維測量能獲得的信息是有限的，從空間三維測量的角度來講，會遺漏許多關鍵的誤差源信息，球桿儀的安裝和調準依然是一項需要較高技術的工作，難以實現機床精度檢驗的自動化和高效。

4.3平面光柵法

   圖 # 所示，工作臺上置有直徑140mm、刻有高精度正交柵紋的平面光柵，主軸端裝有讀數光柵&在平面光柵的有效工作范圍內，不論按NC指令執(zhí)哈默納科三維數控諧波CSG-45-160-2UH行的工作臺與主軸所作的相對運動是規(guī)則的圓運動、直線運動或者是不規(guī)則的復雜曲線運動，都可通過主軸端的讀數頭及后續(xù)電路直接讀出其運動軌跡是否精良的信號，讀數分辨率可達5nm。

   球桿儀是一維的位移測量，在檢測多軸機床時，需要設置復雜的聯動方案。一維測量能獲得的信息是有限的，從空間三維測量的角度來講，會遺漏許多關鍵的誤差源信息，球桿儀的安裝和調準依然是一項需要較高技術的工作，難以實現機床精度檢驗的自動化和高效。

4.3平面光柵法